IN USA사의 OG-5000 시리즈(특허출원중) 오존발생기는 반도체 및 LCD 공정에 적합한 고농도, 고순도의 오존을 발생시키도록 디자인되었으며 이것은 혁신적인 Cell Design과 독특한 Sealing 기술의 접목이 있었기에 가능하게 되었습니다.
반도체 및 LCD의 다양한 Application에 적용할 수 있으며, 긴 Life Time을 얻을 수 있도록 Cell 내부는 매우 Compact하게 디자인되어 있습니다. 따라서 P.M.이나 어떤 Consumable Parts도 필요치 않습니다.
OG-5000 시리즈 오존발생기는 Ozone Delivery System 또는 Dissolved Ozone Delivery System의 한 구성품으로써 혹은 Stand-alone Ozone Generator로써 이용 가능합니다. 또한, 고객의 입장에 서서 Low Cost를 실현하였으므로 저렴한 가격에 고품질의 오존발생기를 사용하실 수 있습니다.
장점
고순도 오존 고농도 오존 타 프로세스용 가스에 비해 친환경적 저렴한 비용 소모성 파트 없음 컴팩트한 디자인 입증된 기술
적용공정
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